爱游戏体育app官网客服:周星工程请求基板处理设备专利进步基板处理作用
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金融界2025年5月1日音讯，国家知识产权局信息数据显现，周星工程股份有限公司请求一项名为“基板处理设备”的专利，公开号CN119895087A，请求日期为2023年9月。
专利摘要显现，依据本发明施行例的基板处理设备包含：具有侧壁的腔室、具有歪斜侧外表且在腔室内部装置基板的基座、掩盖腔室的上外表且由介电资料构成的上圆顶、掩盖腔室的下外表且由介电资料构成的下圆顶、以及设置在腔室内部且设置在上圆顶和下圆顶之间的衬垫。衬垫包含歪斜部分，该歪斜部分具有与基座的歪斜侧外表相对的歪斜内外表。
